Já em 1738, o suíço Daniel Bernoulli usou o método de pressão diferencial para medir o fluxo de água com base na primeira equação de Bernoulli. Mais tarde, o italiano GB Venturi estudou o uso de tubos de Venturi para medir o fluxo e publicou seus resultados de pesquisa em 1791.
Em 1886, o americano Herschel usou tubos de Venturi para fazer um dispositivo de medição prático para medir o fluxo de água.
Do início a meados do século-20, os princípios originais de medição amadureceram gradualmente, e as pessoas não limitaram mais seu pensamento aos métodos originais de medição, mas começaram novas explorações.
Na década de 1930, havia um método de usar ondas sonoras para medir a taxa de fluxo de líquidos e gases, mas não fez muito progresso até a Segunda Guerra Mundial. Foi somente em 1955 que o medidor de vazão Maxon usando o método do ciclo sonoro foi introduzido para medir o fluxo de combustível de aviação.
Após a década de 1960, os instrumentos de medição começaram a se desenvolver na direção da precisão e da miniaturização.
Com o rápido desenvolvimento da tecnologia de circuitos integrados, medidores de vazão ultrassônicos (onda) com tecnologia de loop de fase bloqueada também têm sido amplamente utilizados. O uso generalizado de microcomputadores melhorou ainda mais a capacidade de medição de vazão. Por exemplo, medidores de vazão Doppler a laser podem processar sinais mais complexos após o uso de microcomputadores.